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atk:inas_p-i-n_结

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atk:inas_p-i-n_结 [2017/03/21 16:55] – [建立FET器件结构模型] dong.dongatk:inas_p-i-n_结 [2018/03/20 22:06] (当前版本) liu.jun
行 82: 行 82:
 </WRAP> </WRAP>
  
-将脚本用Editor打开。ATK中缺少定义 H-端基的 InAs 紧束缚基组,下面脚本中提供了这个基组。在 ''InAs_5nm.py'' 中,将 Calculator一段用以下替代:+将脚本用Editor打开。QuantumATK中缺少定义 H-端基的 InAs 紧束缚基组,下面脚本中提供了这个基组。在 ''InAs_5nm.py'' 中,将 Calculator一段用以下替代:
  
 <code python> <code python>
行 252: 行 252:
 ==== 建立FET器件结构模型 ==== ==== 建立FET器件结构模型 ====
  
-器件模型建立自 5nm 厚的片层模型。打开 Builder,导入 ''InAs_5nm.py'' 结构。+器件模型建立自 5nm 厚的片层模型。打开 **Builder**,导入 ''InAs_5nm.py'' 结构。
  
 注意:如果有原子位于单胞外面,将导致电极模型错误。因此我们需要移动结构,使得所有原子都位于晶胞内部。 注意:如果有原子位于单胞外面,将导致电极模型错误。因此我们需要移动结构,使得所有原子都位于晶胞内部。
  
-为此,使用 Coordinate Tools -> Translate,选中 fractional coordinates,使用 0,0,-0.15 矢量平移。这将使下一步wrap原子时所有氢原子都移到单胞中间。+为此,使用 ''Coordinate Tools'' -> ''Translate'',选中 fractional coordinates,使用 0,0,-0.15 矢量平移。这将使下一步 wrap 原子时所有氢原子都移到单胞中间。
  
-打开 Bulk Tools -> Wrap,点击 **Apply**。所有原子都进入晶胞。+打开 ''Bulk Tools'' -> ''Wrap'',点击 **Apply**。所有原子都进入晶胞。
  
-最后,打开 Bulk Tools -> Center,点击 **Apply**,将结构置于单胞中央。+最后,打开 ''Bulk Tools'' -> ''Center'',点击 **Apply**,将结构置于单胞中央。
  
 结构如下: 结构如下:
 {{ :atk:inas-electrode.png?400 |}} {{ :atk:inas-electrode.png?400 |}}
  
-我们要创建一个 60 nm 长的器件,因此这个结构要在 方向重复 100 次。打开 Bulk Tools -> Repeat,设置 A=1,B=1,C=100,点击 **Apply**。+我们要创建一个 60 nm 长的器件,因此这个结构要在 方向重复 100 次。打开 ''Bulk Tools'' -> ''Repeat'',设置 A=1,B=1,C=100,点击 **Apply**。 
 + 
 +=== 定义栅极 === 
 + 
 +接下来我们在两侧设置 1 nm 厚的介电绝缘层,并在中间设置双栅极。 
 + 
 +打开 ''Miscellaneous'' -> ''Spatial Region...'': 
 +  * 右单击弹出窗口的空白区域,选择 insert new spatial region; 
 +  * 将其改为 dielectric,并设置介电常数为3.9。定义分数坐标 a:0.0375-0.165;b:0-1;c:0-1。 
 +  * 再添加一个介电区域,介电常数为3.9.分数坐标为 a:0.8375-0.9625;b:0-1;c:0-1。 
 +  * 再添加一个金属区域,电势为 0.0 Volt。分数坐标为 a:0-0.0375;b:0-1;c:0.33-0.66。 
 +  * 再添加一个金属区域,电势为 0.0 Volt。分数坐标为 a:0。9625-1;b:0-1;c:0.33-0.66。 
 + 
 +{{ :atk:inas-spatialregions.png?400 |}} 
 + 
 +最后,将结构转变成器件模型:打开 ''Device Tools'' -> ''Device from Bulk...'',使用默认设置即可。 
 + 
 +接下来是在电极区域也添加绝缘的介电层,这个操作目前无法在图形界面上实现,因此需要使用 Editor 修改脚本。 
 + 
 +首先,将以下脚本放入左电极定义之后: 
 + 
 +<code python> 
 +# Add dielectric region 
 + 
 +dielectric_region_0 = BoxRegion( 
 +    3.9, 
 +    xmin = 3.0*Ang, xmax = 13.0*Ang, 
 +    ymin = 0.0*Ang, ymax = 4.28387*Ang, 
 +    zmin = 0.0*Ang, zmax = 6.0583*Ang, 
 +
 + 
 +dielectric_region_1 = BoxRegion( 
 +    3.9, 
 +    xmin = 67.0*Ang, xmax = 77.0*Ang, 
 +    ymin = 0.0*Ang, ymax = 4.28387*Ang, 
 +    zmin = 0.0*Ang, zmax = 6.0583*Ang, 
 +
 + 
 +dielectric_regions = [dielectric_region_0, dielectric_region_1] 
 +left_electrode.setDielectricRegions(dielectric_regions) 
 +</code> 
 + 
 +再在右电极定义之后加入下面脚本: 
 + 
 +<code python> 
 +# Add dielectric region 
 +right_electrode.setDielectricRegions(dielectric_regions) 
 +</code> 
 + 
 +将脚本发回到Builder,现在结构看上去如下图。 
 + 
 +{{ :atk:inas_pin_viewer.png?600 |}} 
 + 
 +=== 定义掺杂 === 
 + 
 +在新版的 VNL 中,掺杂变得十分容易,可以直接在图形界面上实现。 
 + 
 +为此,我们先选定左侧三分之一区域的原子(与左电极)设置掺杂为 p 型,浓度 $10^{19}$;右侧设置为 n 型,浓度 $10^{19}$。 
 + 
 +  * 使用表达式选择工具比直接用鼠标拖选要方便得多。打开 ''Selection Tools'' -> ''By Expression'',输入“c<0.33”,按回车键(注意观察选定原子的情况); 
 +  * 打开 ''Miscellaneous''->''Doping'',添加一个新的掺杂区域,并设为p型,浓度为默认$10^{19}$; 
 +  * 打开 ''Selection Tools'' -> ''By Expression'',输入“c>0.66”,按回车键(注意观察选定原子的情况);(设置 underlap 结构时,输入“c>0.833”) 
 +  * 打开 ''Miscellaneous''->''Doping'',添加一个新的掺杂区域,并设为n型,浓度为默认$10^{19}$。 
 + 
 + 
 +接下来,将结构发送到 **Script Generator** 来设置计算
  
  
atk/inas_p-i-n_结.1490086509.txt.gz · 最后更改: 2017/03/21 16:55 由 dong.dong

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